shifts of Ru gated stacks.

Z. Li Tom Schram Luigi Pantisano A. Stesmans Thierry Conard S. Shamuilia V. V. Afanasiev A. Akheyar Sven Van Elshocht D. P. Brunco W. Deweerd Y. Naoki P. Lehnen Stefan De Gendt Kristin De Meyer

Published in: Microelectron. Reliab. (2007)

Keyphrases