Improved Endurance Reliability of Ferroelectric Hafnium Oxide-Based BEoL Integrated MFM Capacitors.
Ayse SünbülDavid LehningerRaik HoffmannHannes MähneKerstin BernertSteffen ThiemThomas KämpfeKonrad SiedelMaximilian LedererLukas M. EngPublished in: IRPS (2024)