Fabrication Process for Josephson Integrated Circuits.

J. H. Greiner Charles J. Kircher S. P. Klepner S. K. Lahiri A. J. Warnecke S. Basavaiah E. T. Yen John M. Baker P. R. Brosious H.-C. W. Huang M. Murakami Irving Ames

Published in: IBM J. Res. Dev. (1980)

Keyphrases