Integration of silicon photonics into DRAM process.
D. J. ShinK. S. ChoH.-C. JiB. S. LeeS. G. KimJ. K. BokS. H. ChoiY. H. ShinJ. H. KimS. Y. LeeK. Y. ChoB. J. KuhJ. H. ShinJ. S. LimJ. M. KimH. M. ChoiK. H. HaY. D. ParkC. H. ChungPublished in: OFC/NFOEC (2013)