Integration of BEoL Compatible 1T1C FeFET Memory Into an Established CMOS Technology.
David LehningerHannes MähneTarek AliRaik HoffmannRicardo OlivoMaximilian LedererKonstantin MertensThomas KämpfeKati BiedermannMatthias LandwehrAndreas HeinigDefu WangYukai ShenKerstin BernertSteffen ThiemKonrad SeidelPublished in: IMW (2022)