2D Materials in the BEOL.

C. H. Naylor Kirby Maxey C. Jezewski K. P. O'Brien A. V. Penumatcha M. S. Kavrik B. Agrawal C. V. Littlefield J. Lux B. Barley Justin R. Weber A. Sen Gupta C. J. Dorow N. Arefin S. King R. Chebiam J. Plombon S. B. Clendenning U. E. Avci Mauro J. Kobrinsky M. Metz

Published in: VLSI Technology and Circuits (2023)

Keyphrases