Sonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays". Grundlagenforschung mit Anwendungsbezug auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik an der TU Chemnitz.
Thomas GessnerW. SeckelG. HerrmannReinhard StreiterPublished in: Informationstechnik Tech. Inform. (2001)